我国在磁性芯片高精度检测上获新突破

值此中国共产党100岁华诞之际，前北京航空航天大学集成电路学院科研人员在5个原子层厚的纳米磁性薄膜上写下“100年，中国芯”。

众所周知，米下面是分米，分米下面是里面，厘米下面是毫米，毫米后面还有（丝米)、忽米、微米、纳米(nm)等等，所以纳米规格的磁性薄膜，大家自行脑补一下。

磁性芯片生产过程中，需将晶圆“躺平”防治在纳米磁性薄膜上，而这一过程难度系数很高，相当于在北京的海淀区地面上均匀铺满5层厚的小米粒，且须十分平整，为此，北航集成电路学院科研团队克服万难，研发出晶圆级磁光克尔测试仪，北京航空航天大学集成电路学院科研人员再利用这款测试仪，对纳米磁性薄膜进行平整度检测。

通过微小的磁性针尖在薄膜上写字，若字的颜色对比度一致、字迹清晰，则表明薄膜有良好的均匀性，完成平整度检测后，将纳米薄膜制成器件，封装后形成芯片。

说到芯片的智造，无论是晶圆的检测设备，还是晶圆的封装设备，都与线性马达密切相关，线性马达因具备高速、高精度、高平稳性等特点，被大力引入芯片生产当中作为相关仪器的驱动装置。